洁净室净化工程施工时需要注意哪些问题?
根据洁净室净化工程拟生产的产品的门类、品种或使用情况,确定所设计洁净室净化工程的控制对象及技术要求。如对生物洁净室净化工程,其控制对象是空气中的尘粒、微生物;面不同产品或用途的生物洁净室净化工程,对空气洁净度等级、空气中含有的微生种类和浓度、压差等的要求是不同的。又如集成电路生产用洁净室净化工程、其控制对象主要是空气中的尘粒;按集成电路的特征尺寸、集成度的、不同,对空气洁净度等级、防微振、高纯物质等的要求是不同的,应披具体工厂的产品品种确定。
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